[스크랩] 진공단위

1. 진공의 발견
				토리첼리의 실험 1643년 이탈리아의 물리학자 토리첼리는 유리관과 수은을 사용하여 다음과 같은 실험을 하였다. 즉, 단면적1cm인 한쪽 끝이 막힌 길이 1m의 유리관 안에 수은을 가득 채운 다음, 수은이 담긴 그릇 안에 거꾸로 세우면, 유리관 안의 수은주는 그릇에 담겨 있는 수은의 표면으로부터 76cm의 높이를 항상 유지 하게 된다는 것이다. 이때 유리관 위쪽에는 진공상태가 되는데 이를 "토리첼리 진공" 이라고 한다. 유리관 안의 수은주가 76cm가 되는 것은 수은주의 무게가 그릇에 담긴 수은의 표면에 작용하는 대기의 압력과 균형을 이루기 때문이다. 이 실험으로 대기압(1기압)은 높이 76cm의 수은주 무게와 같다는 사실이 발견되었으며, 이는 오늘날 진공의 측정 단위에 있어서도 기초적인 개념이 되고 있다. 우리가 흔히 사용하는 진공도의 단위인 토르(Torr)는 토리첼리의 머릿 글자를 딴 것이며, 대기압 상태를 표시하는 760Torr나 760mmHg, 76cmHg등도 모두 토리첼리의 실험에서 나타나는 수은주의 길이를 이용 한 대기압의 표시인 것이다.
2. 진공도의 단위
한국공업규격(KS)에서는 진공도의 단위로 Torr와 Pa를 규정하고 있으나, 일반적으로 Torr가 널리 사용되고 있습니다. Torr는 mmHg 와 동일한 단위이며, cmHg도 단지 mm를 cm로 표시한 것으로 같은 개념입니다. 그러나 독일공업규격(DIN)에서는 mbar를 사용하고 있는데, 이는 대기압을 C,G,S단위 표시인 dyne으로 나타내는 것으로, 1mbar는 1cm에 대하여 1000dyne의 힘이 작용하는 압력을 나타냅니다. 이를 좀더 쉽게 이해하기 위하여 대기압을 우선g으로 나타내보면, 1기압은=76cmHg 76cm인 수은주의 부피=1cm(수은주의 단면)+76cm=76cc 76cc+13.6(수은의 비중)+1033.6g이 되고, 1g=980dyne이므로 1033.6g+980dyne=1012928dyne=1013.3mbar 즉, 1기압=1013.3mbar가 되는 것입니다. 그밖에 종종 쓰이는 진공도의 단위로는 inHg와%가 있습니다. inHg는 수은주의 길이를 단지 inch로 표시한 것에 불과하며, %는 완전진공 상태를 가정하여 100% 진공으로 보고, 대기상태를 0% 진공으로 하여 진공도를 표시하는 것입니다. 그 외에도 bar,Psi,lbf in, inHO,mmHO등이 있습니다.					KS 규격 진공도 단위 Torr, Pa  (대기압)1기압 = 760 Torr                = 760 mmHg                = 76 cmHg                = 101330 Pa    DIN 규격 진공도 단위 mbar  (대기압)1기압 = 1013.3mbar    inHg 표시 진공도 단위  (대기압)1기압 = 29.92 inHg    % 표시 진공도 단위  (대기압)1기압 = 0%
3. 진공도에 따른 진공 영역의 구분
		진공영역은 진공도에 따라 아래의 표와 같이 몇 가지로 구분되어 불리어지고 있습니다. 진공영역을 이 같이 구분하는 이유는 각 진공 영역에 따라 적용되는 공정이 달라지고, 펌프의 기종 또한 다르게 되기 때문이다. 진공 영역별로 구분되는 공정 및 펌프의 기종은 아래의 표와 같습니다 .
		진공 영역 진공도 범위 적용되는 공정 진공펌프의 기종 저진공 Rough Vacuum 대기압-1Torr 진공 흡착이송 ,인쇄기자동급지 ,진공 농축 반응기, 분말 충진 ,?진공성형 ?,진공 포장 건식 로타리 베인 펌프, 급유식 로타리 베인 펌프, 수봉식 펌프, 스팀 이젝타, 냉매 가스주입용 중진공 Fine Vacuum 1Torr-10-3 Torr 진공건조, 탈기장치, 진공함침 진공증류 ,진공소결 다단식 로타리 베인 펌프, 다단식 스팀 이젝타 ,루츠펌프 피스톤 펌프, 확산 펌프 고진공 High Vacuum 10-3Torr-10-7 Torr 진공코팅, 진공 동결 건조, 진공 합금 ,신소재합금 확산펌프, 터보 분자 펌프, 흡착펌프, 저온 냉각 펌프, 승화펌프 초고진공 Ultrahigh Vacuum 10-7Torr 이하 원자핵 연구장치 ,전자 현미경 Plasma발생기, 물리 실험 장치 터보 분자 펌프, 저온 냉각펌프, 흡착 펌프
4. 압력단위 환산표
단위 kPa bar psj kgf/cm² mmH₂O in H₂O ft H₂O mmHg in Hg torr kPa 1 0.01 0.14504 0.01020 101.972 4.01463 0.33455 7.50064 0.29530 7.50064 bar 100 1 0.14504 0.01020 101.972 4.01463 0.33455 7.50064 0.29530 7.50064 psi 6.89476 0.01 1 0.01020 101.972 4.01463 0.33455 7.50064 0.29530 7.50064 kgf/cm² 98.0665 0.01 0.14504 1 101.972 4.01463 0.33455 7.50064 0.29530 7.50064 mmH₂O 0.24909 0.01 0.14504 0.01020 1 4.01463 0.33455 7.50064 0.29530 7.50064 in H₂O 0.24909 0.01 0.14504 0.01020 101.972 1 0.33455 7.50064 0.29530 7.50064 ft H₂O 2.98907 0.01 0.14504 0.01020 101.972 4.01463 1 7.50064 0.29530 7.50064 mmHg 0.13332 0.01 0.14504 0.01020 101.972 4.01463 0.33455 1 0.29530 7.50064 in Hg 3.38639 0.01 0.14504 0.01020 101.972 4.01463 0.33455 7.50064 1 7.50064 torr 0.13332 0.01 0.14504 0.01020 101.972 4.01463 0.33455 7.50064 0.29530 1
5. 진공펌프의 용량 단위
진공펌프의 용량을 나타내는 단위는 여러 가지가 있으나, 우리나라에서는 일반적으로l/min가 사용되고 있습니다. 그러나 M/Hr(Cubie Meter per Hour=CMH)나 FT/min(Cubic Feet per /Minute=CFM)등도 간혹 쓰이고 있으므로 다음의 환산표를 이용하면 사용하는 단위로 쉽게 환산할 수 있습니다.
단위 L/min M3/Hr ft3/min L/min X  1    = X 0.06  = X 0.0353 = L/Hr X 0.0167  = X 0.001 = X 0.006 = ft3/min X  28.32  = X 1.70  = X  1    = M3?/Hr X 16.67   = X  1   = X 0.589  =

출처 : 산업용진공포장기

글쓴이 : 삼우팩 원글보기

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